哈佛將頒專利 黑色矽晶圓 全新超靈敏感光材料
更新日期:2008/10/13 04:34 潘勛／紐約時報十二日報導
哈佛大學物理學家瑪祖爾（Eric Mazur）的直覺，發現了全新的材料「黑色矽晶圓」，可廣範運用於超靈敏感應器到光能電池等科技。哈佛大學準備在十三日頒發專利，給集資生產黑色矽晶圓的麻薩諸塞州「矽安尼克斯公司」（SiOnyx，暫譯）。
瑪祖爾博士率領的團隊原本接受美國「陸軍研究組織」資助，研究各類金屬表面的催化反應。但是到了一九九○年代末期，瑪祖爾表示自己對金屬已感厭倦，開始思索其他課題，但他又擔心陸軍不再挹注研究資金。
瑪祖爾指導研究生卡瑞鑽研自己的構思，用極強力雷射光照到矽晶圓上，同時使用半導體產業常用的六氟化硫氣體來蝕刻。如此造出來的矽晶圓，用肉眼觀看呈黑色。瑪祖爾等人使用電子顯微鏡仔細檢查新材質，發現其表面覆滿超細的釘狀物。
一開始，瑪祖爾等還不曉得自己誤打誤撞，造出什麼東西。但接下來發現，黑色矽晶圓對光極其敏感，卡瑞表示，相形傳統矽晶圓製作的感測器，黑色矽晶圓對光的敏感度要增加一百到五百倍；目前本材料接近商業化量產，一開始最可能用在夜視系統。
瑪祖爾博士的研究成果，導致不少學術及企業研究團隊進一步探索黑色矽晶圓，目前發現，黑色矽晶圓能吸收的可見光，比尋常矽晶圓多一倍，此外，它有能力察出紅外線，而目前的矽晶感測器做不到。
卡瑞邀人共同投資創辦「矽安尼克斯」公司，瑪祖爾博士也有投資，並擔任科學顧問團主席。該公司已開始商業量產以感應器為本的黑色矽晶圓晶片，充當別家公司的科技開發平台，同時把成品運用在下一代紅外線成像系統。
在未來，黑色矽晶圓擁有低成本、靈敏度更高的優勢，可能進軍產值數十億美元的數位相機、攝影機影像市場。
「矽安尼克斯」持續實驗黑色矽晶圓的光能特質，但公司執行長賽勒表示，目前還不打算進入市場，變成太陽能電池廠商；他表示，該公司的目標是科技提供者，而非成品製造廠。賽勒最想做的，是造出全新世代、超敏感的光偵測器，供創業家及實驗專家使用，讓這項科技導往難以預料的新應用方向。
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